WF6 بنيادي طور تي اليڪٽرانڪس انڊسٽري ۾ ڌاتو ٽنگسٽن جي ڪيميائي بخارات جمع ڪرڻ (CVD) جي عمل لاءِ خام مال طور استعمال ٿيندو آهي. WF6 مان ٺهيل WSi2 کي وڏي پيماني تي انٽيگريٽڊ سرڪٽس (LSI) ۾ وائرنگ مواد طور استعمال ڪري سگهجي ٿو، ۽ سيمي ڪنڊڪٽر اليڪٽروڊز، ڪيميڪل ايجنٽن لاءِ فلورين خام مال، پوليمرائيزيشن ڪيٽالسٽ، آپٽيڪل مواد وغيره لاءِ خام مال طور پڻ استعمال ڪري سگهجي ٿو.